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上海mems电容真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应

上传时间:2025-08-07 浏览次数:
文章摘要:真空计的工作原理基于气体分子的运动特性。当气体分子在封闭空间内不断运动、相互碰撞并与容器壁发生碰撞时,这种碰撞运动将气体分子的动能转换成容器壁上的压力。真空计通过测量这种压力来间接反映气体的压强或真空度。不同类型的真空计采用不同的

真空计的工作原理基于气体分子的运动特性。当气体分子在封闭空间内不断运动、相互碰撞并与容器壁发生碰撞时,这种碰撞运动将气体分子的动能转换成容器壁上的压力。真空计通过测量这种压力来间接反映气体的压强或真空度。不同类型的真空计采用不同的物理机制进行测量,例如:利用力学性能的真空计:如波尔登真空计和薄膜电容规,它们通过测量气体对某种力学元件(如薄膜)的作用力来推算真空度。利用气体动力学效应的真空计:如皮拉尼电阻规和热电偶规,它们利用气体在流动过程中产生的热效应或电效应来测量真空度。利用带电粒子效应的真空计:如热阴极电离规和冷阴极电离规,它们通过测量气体分子在电离过程中产生的电流来推算真空度。这类真空计在高真空领域具有极高的测量精度。皮拉尼真空计在测量过程中需要注意哪些安全问题?上海mems电容真空计设备公司

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热传导真空计:利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中,以一定加热电流通过装有热丝的规头,热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数,故热丝的温度随压强而变化。热传导真空计主要用于100~10^-1帕范围,采取特殊措施可扩大测量范围。不过,热传导真空计的指示不但和气体种类有关,而且易受热丝表面污染、环境温度等因素影响,故准确度不高,只作粗略的真空指示用。粘滞真空计:利用在真空中转动或振动的物体受气体分子阻尼作用而发生运动衰减的现象来测量气体压强。气体分子的阻尼力与压强有关。实际使用的粘滞真空计主要有磁悬浮转子真空计和振膜真空计。磁悬浮转子真空计利用可控磁场把不锈钢球悬浮在真空中,用旋转磁场把钢球加速到400转/秒,然后停止加速,任其自然衰减,用电子学方法精确测量其转速衰减率,从而确定压强。这种真空计具有很高的测量精度,吸气、放气速率小,压强指示受气体种类影响小,如钢球表面镀金则可在较恶劣的气氛下工作。然而这种真空计在高真空端的读数受振动影响较大,测量时间也较长。因此,它可作为1~10^-4帕范围内的副标准真空计或用作标准传递真空计。上海金属真空计多少钱真空计的适用压力范围是?

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选择适合的真空计对确保测量精度和系统稳定运行至关重要。以下是选择真空计时需要考虑的关键因素:1. 测量范围真空度需求:根据应用需求选择适合的测量范围,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:确保真空计的量程覆盖所需测量范围。2. 精度与分辨率精度要求:选择满足精度要求的真空计,高精度应用需选择高精度型号。分辨率:确保分辨率足够高,能检测到微小压力变化。3. 响应时间快速响应:对压力变化敏感的应用需选择响应时间短的真空计。稳定性:在快速变化环境中,选择稳定性好的真空计。4. 环境适应性温度范围:确保真空计能在工作温度范围内正常运行。耐腐蚀性:在腐蚀性气体环境中,选择耐腐蚀材料制成的真空计。5. 气体类型气体种类:不同气体对真空计测量有影响,选择适合测量特定气体的真空计。气体清洁度:在污染气体环境中,选择不易受污染的真空计。

8. 复合真空计复合真空计结合多种测量技术,适用于从粗真空到超高真空的范围。原理:通常结合皮拉尼真空计和电离真空计。测量范围:10⁻¹⁰ Torr 到 1000 Torr。优点:测量范围广,适用性强。缺点:成本较高。应用:多功能真空系统。9. 其他真空计(1)放射性电离真空计原理:利用放射性物质电离气体分子测量压力。测量范围:10⁻⁶ Torr 到 10⁻³ Torr。优点:无需电源,稳定性好。缺点:放射性物质存在安全隐患。应用:特殊环境真空测量。(2)声波真空计原理:通过声波传播速度变化测量压力。测量范围:10⁻⁶ Torr 到 1000 Torr。优点:非接触式测量。缺点:精度较低。应用:特定工业应用。电容真空计在哪些领域有应用?

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陶瓷薄膜真空计应用领域半导体制造:用于工艺过程中的真空度监控。真空镀膜:确保镀膜质量。科研实验:用于高精度真空测量。医疗设备:如电子显微镜、质谱仪等。优缺点优点:高精度、耐腐蚀、稳定性好、量程宽。缺点:成本较高,对安装和使用环境要求严格。维护与保养定期校准以确保精度。保持清洁,避免污染影响性能。避免机械冲击和振动。总结陶瓷薄膜真空计凭借其高精度和稳定性,在多个领域得到广泛应用,尽管成本较高,但其性能优势明显。电容真空计通过测量电容变化来推算真空度,而热传导式真空计则利用气体分子的热传导性质来测量。上海真空计设备公司

部分真空计对被测气体有要求。上海mems电容真空计设备公司

真空测量就是真空度的测量,而真空度(详细注释见前文:知识分享②|真空如何获得?)是指低于大气压力注释的气体稀薄程度的物理量。通常,将用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。注释:大气压力:通常指一个标准大气压,压强的单位之一。当温度为0℃(273.15K)时,在重力加速度为980.655cm/s2处(即在地球纬度为45°的海平面上),使用**的密度为13.5951g/cm3,则760mm高的**柱所产生的压强为1标准大气压。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,两者相差约千万分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一个标准大气压1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr上海mems电容真空计设备公司

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