服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
24
2025-10
星期 五
-
上海皮拉尼真空计供应商 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻²Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10Hz以
-
24
2025-10
星期 五
-
上海高精度真空计原厂家 上海辰仪测量技术供应
真空计用于测量真空系统中的压力，使用方法如下：1.选择合适类型根据测量需求选择合适的真空计类型，常见的有：热偶真空计：适用于低真空（1Pa-1000Pa）。电离真空计：适用于高真空（10^-3Pa-10^-8Pa）。皮拉尼真空计：
-
24
2025-10
星期 五
-
上海大气压真空计 上海辰仪测量技术供应
真空计相关知识真空计的通信接口现代真空计标配RS485/Modbus协议，**型号支持EtherCAT（延迟<1μs）。数字输出可减少模拟信号噪声，如电离规的离子电流低至10⁻¹²A。物联网型真空计集成自诊断功能（如INFI
-
24
2025-10
星期 五
-
上海mems皮拉尼真空计 上海辰仪测量技术供应
2.热传导真空计热传导真空计通过气体热传导的变化来测量压力，适用于低真空和中真空范围。（1）皮拉尼真空计原理：利用加热丝的热量损失与气体压力之间的关系测量压力。测量范围：10⁻³Torr到10Torr。优点：响应快、成本低。缺点：
-
24
2025-10
星期 五
-
上海高纯度真空计设备厂家 上海辰仪测量技术供应
微压差真空计（差压规）测量两个腔室压差，量程1~10⁻⁴Pa，精度±0.1%。应用包括检漏仪（氦质谱仪参考端压力监控）和分子泵前级压力控制。硅谐振式传感器（如横河EJA系列）温度稳定性达±0.1%FS/年。20.真空计的未来发展趋
推荐资讯