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上海皮拉尼真空计供应商 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻²Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10Hz以
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真空计用于测量真空系统中的压力，使用方法如下：1.选择合适类型根据测量需求选择合适的真空计类型，常见的有：热偶真空计：适用于低真空（1Pa-1000Pa）。电离真空计：适用于高真空（10^-3Pa-10^-8Pa）。皮拉尼真空计：
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